УкраїнськийEgy folyamatmérnök egy 200 mm-es ostyaszövetben egyszer egy litográfiai pályán használt, vízben összekuszált, nem szőtt törlőkendők tekercsének nyomon követte a szerszám kihozatalának hirtelen csökkenését. A törlőkendők tisztának és puhának tűntek, de a folyadékrészecskék száma feltárta a problémát. A félvezetőgyártásban a tisztatéri ablaktörlő nem áruellátási cikk; ez egy folyamatban lévő fogyóeszköz, amely közvetlenül szabályozza a részecskék, ionos és szerves szennyeződéseket az ostyát érintő felületeken.
A rövid válasz a kiválasztási kérdésre a következő: illessze az ablaktörlő anyagát a tisztatér ISO-osztályához, a folyamat lépéséhez és a tisztítási kémiához, majd ellenőrizze minden bejövő tételt a részecskék és a kivonható adatokkal. Ne csak márka, szín vagy csomagonkénti ár alapján válasszon.
Kezdje a tisztasági adatokkal, ne az árral
A félvezető geometriák immár az alacsony nanométeres tartományba is eljutnak, és a kritikus hibaméretnél nagyobb részecske tönkreteheti a szerszámot. A hagyományos bolti törülközők vagy ipari törlők nem elfogadhatók az ostyák közelében, mert rostokat bocsátanak ki, ionos maradékokat bocsátanak ki, és az oldószer elpárolgása után nem illékony maradékot hagynak maguk után.
Négy mérőszám határozza meg a félvezető minőségű ablaktörlőt:
- APC (levegőben lévő részecskeszám): 0,5 µm-es vagy nagyobb, valamint 5,0 µm-es és nagyobb részecskék, amelyek levegőbe kerülnek, általában négyzetméterenként jelentenek. Az alacsonyabb jobb.
- LPC (folyékony részecskeszám): ionmentesített vízbe vagy IPA-ba bocsátott részecskék, milliliterenként jelentve. Ez a legközvetlenebb előrejelzője a szennyeződésnek az oldószeres törlés során.
- Ionos extrahálható anyagok: klorid, nátrium, kálium, szulfát és egyéb ionok ppm-ben. Ezek az ionok korróziót és küszöbfeszültség-eltolódást okozhatnak az eszközökben.
- NVR (nem illékony maradék): az oldószer elpárolgása után visszamaradt maradék, mg/gramm törlőben megadva. A magas NVR homályt hagy az optikán és az ostyán.
Az alábbi táblázat a levegőben lebegő részecskeszintek tipikus relatív szintjét mutatja a szokásos törlőanyag-családok esetében. Az értékek összehasonlítás céljából illusztrációk; mindig kérje be szállítójától a tényleges vizsgálati jelentést.
A nem szőtt ablaktörlők egy nagyságrenddel több részecskét bocsátanak ki, mint a kötött poliészter; tartsa távol őket az ostya melletti lépcsőktől.
Hasonlítsa össze a fő anyagcsaládokat
A szőtt, kötött és nem szőtt törlők mindegyike megtalálható a tisztatéri katalógusokban, de a kötött konstrukció a szabvány a kritikus félvezető tisztításnál. A folytonos szálas poliészter kötött kötés sokkal kevesebb részecskét bocsát ki, mint a szövött vagy hidrogénkuszált szerkezetek, és ellenáll az ostyafeldolgozás során használt oldószereknek és savaknak.
| Anyagi család | Tipikus felépítés | A legalkalmasabb | Fő korlátozás |
|---|---|---|---|
| 100% poliészter kötött | Folyamatos filament kötött, lezárt élek | Ostya melletti tisztítás, ISO osztály 4-6 | Alacsonyabb nedvszívó képesség, mint a mikroszálas |
| Szub-mikroszálas polyester | Finom denier kötés | Vékonyréteg-maradványok és olajos talajok | Ellenőrizze a kompatibilitást agresszív oldószerekkel |
| Mikroszálas 80/20 | Poliészter/nylon osztott mikroszálas | Szerszámfelületek és általános fatisztítás | Rossz minőség esetén a nylon maradványokat hagyhat maga után |
| ESD kötött polyester | Poliészter vezető szálakkal | Statikusan érzékeny folyamatlépések | Kicsit magasabb részecskeszint, mint a sima kötött |
| Hydroentangled nem szőtt | Cellulóz és poliészter keverék | Karbantartás, alrendszer, nem szelet területek | Magas részecskeképződés; tartsa távol az ostyazónáktól |
Az ostyával szembeni alkalmazásokhoz a 100% poliészter kötött, lezárt szélű törlő a legbiztonságosabb kiindulási pont. Egy olyan termék, mint a 1009LE tisztatéri ablaktörlő ellenőrzött alapvonalat ad; ablaktörlő gyártásunk ISO Class 5 és Class 6 tisztaterekben folyik, és a műszaki csapat részecske- és kivonható jelentéseket tud szállítani a minősítéshez.
Egyedi 1009LE tisztatéri ablaktörlő beszállítók, OEM/ODM gyár – Suzhou Jujie Electron A Suzhou Jujie Electron Co., Ltd. egy kínai OEM/ODM 1009LE tisztatéri ablaktörlő beszállítója és 1009LE tisztatéri ablaktörlő gyára. Termék megtekintése → Illessze az ablaktörlőt az ISO osztályhoz és a folyamatzónához
Ugyanaz a fab három különböző ablaktörlőt használhat három különböző zónában. A szabály egyszerű: az ablaktörlőnek tisztábbnak kell lennie, mint a környezet, amelyben használják, mert a törléssel visszarakódnak a részecskék a felületre.
- ISO 4-5 osztály (litográfia, maratás, lerakás): használjon 100% poliészter kötést, lezárt élekkel és dokumentált LPC-vel 0,5 µm-nél és nagyobb méretnél. Soha ne használjon nem szőtt ablaktörlőt ezekben a zónákban.
- ISO 6. osztály (pálya, metrológia, EFEM, rakodónyílások): poliészter kötött vagy ESD kötött, a lépés statikus érzékenységétől függően.
- ISO 7-8 osztály (berendezések karbantartása, aljzat, ruházati területek): a mikroszálas vagy szövött ablaktörlők szabályozzák a költségeket, ugyanakkor megbízható tisztítást biztosítanak.
Amikor a munka a szerves maradványok eltávolítása a szerszám külső felületéről az ISO Class 7 területeken, a JW08522 mikroszálas törlő súly szerint észrevehetően több folyadékot szív fel, mint egy hagyományos kötött, ami lerövidíti a tisztítási időt és csökkenti a vegyszerfelhasználást.
Egyedi JW-08522 mikroszálas törlő beszállítók, OEM/ODM gyár – Suzhou Jujie Elect A Suzhou Jujie Electron Co., Ltd. egy kínai OEM/ODM JW-08522 mikroszálas törlő beszállítója és JW-08522 mikroszálas törlőgyár, szakterületünk... Termék megtekintése → Az alábbi vonaldiagram bemutatja, hogy miért számít a technika és az élminőség. A jól tömített kötött törlő néhány mozdulattal eléri az alacsony állandósult állapotot; az élvonalbeli ablaktörlő sokkal hosszabb ideig magasabb szinten ürít.
Az első ütések mindig a legtöbb részecskét szabadítják fel; a lezárt él csökkenti a csúcs- és az egyensúlyi szintet is.
Éltömítés: kis részlet nagy hatással
A levágott élek a laza szálak elsődleges forrásai a tisztatéri ablaktörlőben. Amikor egy penge átszeli a kötött anyagot, kinyitja a hurkokat, és olyan végeket hagy maga után, amelyek törlés közben leválhatnak. A szélek hővel, ultrahangos hegesztéssel vagy lézeres olvasztással történő lezárása megfogja ezeket a szálakat, és távol tartja őket a folyamattól.
- Használjon lézerrel vagy ultrahanggal lezárt éleket az ISO Class 5 és tisztább alkalmazásokhoz.
- Ellenőrizze, hogy a lezárt él rugalmas marad-e; a merev él megkarcolhatja az optikát és a polírozott felületeket.
- Vizsgálja meg a nagyítás alatt álló élt a minősítés során, és kérje le az élrészecskék adatait.
Ha többet szeretne megtudni arról, hogy miért történik a részecskék felszabadulása még egy jó ablaktörlő esetén is, lásd elemzésünk arról, hogy a tisztatéri ablaktörlő miért bocsát ki részecskéket törlés közben .
Adjon hozzá ESD-vezérlést, ahol a statikus feszültség kockázatot jelent
Az ablaktörlő statikus töltést építhet fel, amikor a felületen csúszik. Az ostyaszövetben ez a töltés károsíthatja a kapu oxidjait, vagy éppen arra a területre vonzhatja a levegőben lévő részecskéket, amelyeket tisztít. Az ESD ablaktörlők kis százalékban vezető szálból, jellemzően széntartalmú poliészterből vannak kötve, amely a töltést a földre vezeti, amikor a kezelőt csuklópánton és szőnyegen keresztül földelték.
Használjon ESD-törlőt az ostyaátviteli területeken, a betöltési portokon, az irányzékkezelésben, a metrológiai eszközökben és mindenhol, ahol egy érzékeny eszköz nem támogatott.
Ha ezekre a zónákra minősíti az ablaktörlőket, vegyen fel egy ESD fokozatot a próbaverzióba. A ESD tisztatéri ablaktörlő Ugyanabból a sorozatból származó részecske- és töltéscsillapítási teljesítmény érdekében egymás mellett összehasonlítható egy szabványos kötöttséggel.
Egyedi ESD ablaktörlő beszállítók, OEM/ODM gyár - Suzhou Jujie Electron Co., Ltd. A Suzhou Jujie Electron Co., Ltd. egy kínai OEM / ODM ESD ablaktörlő beszállítója és ESD ablaktörlő gyára, egyedi ESD ablaktörlőkre és egyéb... Termék megtekintése → A kötelezettségvállalás előtt ellenőrizze a szállítót
Az adatlap csak azt mondja meg, hogy a szállító mit mért, azt nem, hogy mit ellenőriz. Mivel az ablaktörlő ugyanazokat a felületeket érinti, mint az ostyát, a tételenkénti konzisztencia az igazi követelmény. Használja ezt az ellenőrző listát a szállító minősítésekor:
- Tisztatéri gyártás: az ablaktörlőt ki kell mosni, szárítani, le kell zárni, és legalább olyan tiszta helyiségbe kell csomagolni, mint a saját gyártási területe.
- A tétel nyomon követhetősége: minden tételnek tartalmaznia kell egy tételszámot és egy vizsgálati jelentést, amely lefedi az APC-t, az LPC-t, az ionos kivonható anyagokat és az NVR-t.
- Oldószer-kompatibilitás: a jóváhagyás előtt ellenőrizze az ablaktörlőt IPA-ban, acetonban és bármilyen kevert vegyszerben.
- Csomagolás integritása: a duplazacskós tisztatéri poli a minimum; csak akkor adjon hozzá gamma-besugárzást, ha valóban szükséges a sterilitás.
- Változásértesítés: kérje meg a szállítót, hogy tájékoztassa Önt a nyersanyagban, a mosószerben, a vágási módszerben vagy a lezárási folyamatban bekövetkezett változásokról.
Ha ezeket a lépéseket formális ablaktörlő-specifikációvá szeretné alakítani, vegye fel a kapcsolatot tisztatéri fogyóeszközök csapatával ISO osztályával, tisztító oldószerével és folyamatlépésével, és mi segítünk Önnek a törlőminőséget a kockázati profilhoz igazítani.
Gyakran Ismételt Kérdések
Használhatom ugyanazt az ablaktörlőt litográfiához és alegységek karbantartásához?
Nem. Az ostya felé néző ablaktörlőket tartsa elkülönítve a karbantartási ablaktörlőtől. A hidroentangled, nem szőtt ablaktörlők megfelelőek a padlókhoz és a berendezéskeretekhez, de soha nem használhatók litográfiában, maratáshoz vagy olyan területeken, ahol ostyák vannak kitéve.
A magasabb ár a jobb tisztaság jele?
Nem mindig. Az ár gyakran tükrözi a csomagolást és a márka pozícióját. Az ablaktörlőt a részecskék és a kivonható adatok alapján ítélje meg, nem az ár alapján; egy közepes árú, lezárt szélű poliészter kötött kötött anyag az Ön sajátos kémiájában felülmúlhatja a prémium termékeket.
Szükségem van steril törlőkre egy félvezető tiszta helyiségben?
Az ostyák esetében nem a sterilitás a fő szempont; a részecskeszám az. A steril törlők elsősorban gyógyszerészeti és orvosi eszközök követelményei. Ha steril törlőkendőt választ, győződjön meg arról, hogy a sterilizálási módszer nem rontja a kötött szerkezetet, és nem növeli az extrahálható mennyiséget.
Szállítóváltás után milyen gyakran kell újra minősíteni?
Minősítse újra, ha a szállító megváltoztatja az alapanyagot, a konstrukciót, az élzárást, a mosószert vagy a csomagolósort. Még az öblítővíz minőségének változása is nagymértékben eltolhatja az ionos kivonható anyagokat. A dokumentált újraminősítés védi a folyamatot, és ellenőrzési nyomvonalat hoz létre.
A végső döntés meghozatala
A félvezetőgyártáshoz az a megfelelő tisztatéri törlőtörlő, amely megfelel a részecskék, ionok és maradékanyagokra vonatkozó eljárási határértékeknek, megfelel a zóna ISO-osztályának, ellenáll a tisztítási kémiának, és olyan beszállítótól származik, aki bizonyítani tudja a tételek közötti konzisztenciát. Válasszon tömített éleket, ahol a szálak kockázatot jelentenek, és ESD konstrukciót, ahol a statikusság kockázatot jelent. A fenti keretrendszerrel az ablaktörlő vásárlás inkább ellenőrzött folyamattá válik, mint rutinszerű vásárlássá.
